SJ6000激光干涉儀檢定位移傳感器的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢，其特點是測量精度高、反應速度快、易于數字化測量。

在測量中設計一個精密導軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比。位移傳感器自動檢定系統與SJ6000激光干涉儀（標準）對定長位移進行測試對比，得出往復測試實驗結果。實驗環境：室溫18℃；相對濕度：52％RH；氣壓：754mmHg給出的位移檢定系統的讀數與激光干涉儀讀數，其差值小于±2．0um，這一誤差滿足預期的研究指標要求（不大于±2．5um）。

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、*高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。