臺階儀廠家：0.5mg測力接觸式測量解決碳化硅（SiC）測量難題

臺階儀超微力恒力傳感器實現0.5mg測力接觸無損傷探測，亞埃級分辨率，高臺階高度重復性＜4 ?，解決碳化硅（SiC）測量難題。

此外，NS系列臺階儀還支持三維量測（3D掃描表面形貌）。通過雙影像導航系統精準定位，它能對晶圓表面進行大范圍掃描拼接，不僅能繪制出機械拋光后的表面微觀形態，更能直接生成薄膜應力測量曲線。

配合內置的SPC統計（數據收集和分析）功能，工藝工程師可以直觀地預判薄膜應力的暗涌，從而評估晶圓質量和工藝穩定性。

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