CEM3000臺式掃描電子電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。憑借CEM3000系列空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

CEM3000超高分辨率臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。它具有出色的電子光學系統，優于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

SuperViewW國產白光干涉測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設計，結構穩定性好，而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

VT6000自動三維共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合高穩定性結構設計和優異的3D重建算法，共同組成測量系統，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。