產品簡介

VT6000國產共聚焦顯微鏡基于激光共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實現器件表面形貌3D測量。

VT6000國產共聚焦顯微鏡基于激光共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實現器件表面形貌3D測量。

應用

用于機械制造、汽車、航天航空、船舶重工、軍工、風電、新能源等大型零件的測量；3C、工具原形等中小型零件的測量。涵蓋箱體、機架、齒輪，凸輪、渦輪，蝸桿、葉片的曲線、曲面的測量，可對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，完成過程控制，質量控制，逆向成型等任務。

產品特點

1）結構簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動，真正實現了“拎著走"的便攜式設計；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；

3）操作便捷：采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果；

4）安全無憂：采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

技術指標

型號：VT6100

行程范圍：100*100*100mm

視場范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度測量重復性(1σ)：12nm

高度測量精度：± (0.2+L/100) μm

高度測量分辨率：0.5nm

寬度測量重復性(1σ)：40nm

寬度測量精度：± 2%

寬度測量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

儀器重量：50kg

VT6000國產共聚焦顯微鏡具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；還具備自動拼接功能，能夠快速實現大區域的拼接縫合測量。一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現批量數據文件的快速分析。