產品簡介

CHOTEST中圖儀器3d光學輪廓儀品牌SuperViewW1采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

CHOTEST中圖儀器3d光學輪廓儀品牌SuperViewW1采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。是一款用于對各種精密器件表面進行納米級測量的光學儀器。

產品功能

設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

性能參數

性能特色

1、高精度、高重復性

采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；

隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重復性；

2、環境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環境噪聲數據作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

中圖儀器3d光學輪廓儀品牌能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。