產(chǎn)品簡介

中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺解決測量精度不足、穩(wěn)定性差、安裝受限、多軸測量難等難題，以突破性激光干涉技術(shù)，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測量體驗。

中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺納米級精準(zhǔn)測量解決方案，解決測量精度不足、穩(wěn)定性差、安裝受限、多軸測量難等難題，以突破性激光干涉技術(shù)，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測量體驗。

一、核心價值

1. 精度焦慮破解：10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級測量需求，杜絕加工誤差導(dǎo)致的產(chǎn)品報廢

2. 復(fù)雜工況適配：熱源隔離設(shè)計+環(huán)境實時補償，溫度/氣壓/濕度變化不影響數(shù)據(jù)穩(wěn)定性

3. 效率成本雙升：多軸同步測量+快速安裝準(zhǔn)直，減少設(shè)備調(diào)試時間，提升生產(chǎn)線流轉(zhuǎn)效率

4. 場景無界適配：4m大量程可拓展，動態(tài)速度支持2m/s，覆蓋靜態(tài)檢測到高速運動全場景

二、核心功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實時補償環(huán)境參數(shù)對測量的影響，數(shù)據(jù)長期可靠

3. 靈活安裝設(shè)計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現(xiàn)多自由度測量

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制

三、典型應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度

四、核心優(yōu)勢

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺柵距更精準(zhǔn)、分辨率更高，環(huán)境補償技術(shù)進一步保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據(jù)客戶生產(chǎn)場景量身定制方案

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調(diào)試成本，動態(tài)測量能力適配高速生產(chǎn)線

4. 全周期可靠保障：激光校準(zhǔn)認(rèn)證加持，數(shù)據(jù)可追溯，滿足工業(yè)生產(chǎn)合規(guī)要求

五、專屬服務(wù)：B端客戶無憂合作保障

1. 定制化方案：按需提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補償單元等靈活選配，貼合實際生產(chǎn)需求

2. 專業(yè)技術(shù)支撐：1年質(zhì)保+7×24小時全球技術(shù)團隊響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場安裝、使用難題

3. 認(rèn)證背書：提供激光校準(zhǔn)證書，確保測量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)合規(guī)，助力客戶通過行業(yè)審核

六、解鎖專屬測量方案

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注：產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。