產品簡介

SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復性，連續10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數據偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內外標準。

中圖儀器SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復性，連續10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數據偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內外標準。無論是納米級臺階高度、微觀幾何輪廓，還是超光滑表面粗糙度，均能精準量化，為工藝調整提供可信的量化依據。

一、解決四大核心測量痛點

二、應用場景

1.半導體制造：適配硅晶片研磨減薄后的粗糙度檢測、光刻槽道輪廓測量，助力頭部企業工藝良率提升8%，檢測數據通過國際標準認證，滿足供應鏈合規要求。

2.3C電子：精準測量手機玻璃屏粗糙度、金屬殼模具瑕疵、油墨屏高度差，批量檢測報表支持Word/Excel/PDF格式自動導出，適配化供應鏈質檢存檔需求。

3.光學加工：量化納米臺階高度、光學元件表面輪廓，916.5nm臺階測量重復性達0.08%，幫助企業產品合格率從92%提升至99.2%。

4.汽車零部件：檢測精密軸承孔隙間隙、齒輪表面磨損輪廓，在復雜車間環境中保持數據穩定，某車企質檢周期縮短50%。

三、應用領域圖片

四、核心配置

1. 自研軟件平臺：Xtremevision Pro支持多機型自動識別，白光干涉與共聚焦模式自由切換，可直接測量微觀輪廓的距離、角度等參數。

2. 靈活硬件配置：320×200mm載物臺（負載10kg），標配10×干涉物鏡，可選2.5×-100×鏡頭，適配不同尺寸、類型工件。

3. 安全與便捷：集成式操縱桿控制XYZ軸、速度及光源亮度，急停功能一鍵觸發，新手培訓1天即可獨立操作。

SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器高精度、高效率、高適配、低運維，是精密制造企業的選擇檢測設備。如需獲取產品演示視頻、行業專屬方案或免費樣品測試，歡迎聯系客服。

注：產品參數與配置以實際交付為準，中圖儀器保留根據技術升級調整的權利，恕不另行通知。