激光干涉儀用途：檢測醫療CT滑軌運行精度及旋轉架定位精度

一、測量需求

檢查床CT滑軌運行的定位精度、重復精度、直線度，旋轉架的旋轉精度和旋轉定位精度。

二、激光干涉儀解決方案

SJ6000激光干涉儀搭配線性鏡組+角度鏡組+直線度鏡組+WR50自動精密轉臺。

測試步驟

（1）安裝調試

把三腳架調整到合適高度，激光干涉儀放置在三腳架上，調整至與CT滑軌同高。線性反射鏡放置于滑軌上，隨測量軸一起移動，通過調整主機和線性鏡組，確保光路與檢測軸平行，此時光路搭建完成。

（2）數據采集

測量行程0-650mm，間隔25mm，往返1次，越程1mm，激光干涉儀暫停時間2S，設備運行暫停3S（注意設備暫停時間大于激光干涉儀設定時間1S）。設備和激光干涉儀設置程序一致即可開始運行測量。

（3）數據補償

測量結束后，軟件可通過算法自動生成補償數據。

補償前：定位精度81.173um,重復定位精度2.683um。檢測出的“實際位置數據"和“理論位置數據"存在顯著差異，未滿足出廠標準。

補償后：定位精度7.037um，重復定位精度1.328um，補償精度后大大提升了CT掃描儀的診斷準確性。